Автоматизация и мехатроника
Автомобили и автомобильное хозяйство
Акватроника
Аэродинамика
Аэрокосмическая техника
Биология
Вычислительная и микропроцессорная техника
Гидромеханика
Конструкции. Архитектура
Лесное хозяйство
Материаловедение
Медицина
Механика и материалы
Науки о Земле
Нефтегазовая промышленность
Окружающая среда
Пищевая химия
Пищевые и водные технологии
Полиграфия
Прикладная оптика и фотоника
Радиотехника, телекоммуникации и сети ЭВМ
Робототехника
Сельское хозяйство
Термодинамика и термотехника
Технология машиностроения и обработка материалов
Транспорт
Физика
Химические технологии
Химия
Экология
Электроника
Электроэнергетика
Энергетика
Энергия
Отправить на E-Mail
Распечатать страницу
Рентгеновская флуоресцентная спектроскопия – определение толщины слоя
Принцип:
Флуоресцентный анализ рентгеновского излучения (РФА) подходит для бесконтактного и неразрушающего измерения толщины тонких слоев, а также для определения их химического состава. Для этого типа измерений необходимы источник рентгеновского излучения и детектор, расположенные на той же стороне образца. Когда слой на подложке подвергается рентгеновскому облучению, излучение проникает в слой, если он достаточно тонок в определенной степени, в зависимости от толщины, и, в свою очередь, вызывает характеристическое флуоресцентное излучение в материале нижележащей подложки. На своем пути к детектору это флуоресцентное излучение будет ослаблено поглощением в слое. Толщина слоя может быть определена на основе затухания интенсивности флуоресцентного излучения материала подложки.
Задачи:
1. Калибровка полупроводникового детектора энергии.
2. Измеряют спектр флуоресценции железа подложки с различными номерами n кусков алюминиевой фольги с той же толщиной, размещенных на подложке (в том числе n = 0). Определить интенсивность линии флуоресценции Fe-Ка.
3. Построить график интенсивности линии флуоресценции Fe-Ка в зависимости от количества кусочков алюминиевой фольги, размещенных на подложке линейным и полулогарифмическим образом.
4. Определить интенсивности линии флуоресценции Fe-Ка для различных количество кусков алюминиевой фольги, которые скрепляются перед выходом из трубки детектора энергии.
5. Рассчитать толщину алюминиевой фольги.
6. Выполнить задачи 2 до 4 для медной фольги на подложке молибдена или цинка.
Основные термины:
• Тормозное рентгеновское излучение
• Характеристическое излучение
• Флуоресцентный выход
• Эффект Оже
• Когерентное и некогерентное рассеяние фотонов
• Закон поглощения
• Массовый коэффициент ослабления
• Толщина насыщения
• Матричные эффекты
• Полупроводник
• Детекторы энергии
• Многоканальные анализаторы
Флуоресцентный анализ рентгеновского излучения (РФА) подходит для бесконтактного и неразрушающего измерения толщины тонких слоев, а также для определения их химического состава. Для этого типа измерений необходимы источник рентгеновского излучения и детектор, расположенные на той же стороне образца. Когда слой на подложке подвергается рентгеновскому облучению, излучение проникает в слой, если он достаточно тонок в определенной степени, в зависимости от толщины, и, в свою очередь, вызывает характеристическое флуоресцентное излучение в материале нижележащей подложки. На своем пути к детектору это флуоресцентное излучение будет ослаблено поглощением в слое. Толщина слоя может быть определена на основе затухания интенсивности флуоресцентного излучения материала подложки.
Задачи:
1. Калибровка полупроводникового детектора энергии.
2. Измеряют спектр флуоресценции железа подложки с различными номерами n кусков алюминиевой фольги с той же толщиной, размещенных на подложке (в том числе n = 0). Определить интенсивность линии флуоресценции Fe-Ка.
3. Построить график интенсивности линии флуоресценции Fe-Ка в зависимости от количества кусочков алюминиевой фольги, размещенных на подложке линейным и полулогарифмическим образом.
4. Определить интенсивности линии флуоресценции Fe-Ка для различных количество кусков алюминиевой фольги, которые скрепляются перед выходом из трубки детектора энергии.
5. Рассчитать толщину алюминиевой фольги.
6. Выполнить задачи 2 до 4 для медной фольги на подложке молибдена или цинка.
Основные термины:
• Тормозное рентгеновское излучение
• Характеристическое излучение
• Флуоресцентный выход
• Эффект Оже
• Когерентное и некогерентное рассеяние фотонов
• Закон поглощения
• Массовый коэффициент ослабления
• Толщина насыщения
• Матричные эффекты
• Полупроводник
• Детекторы энергии
• Многоканальные анализаторы
